晶圓單片清洗設備應用提案
裝置概要
晶圓單片清洗設備由于工藝效果好、均勻性高，不易產生交叉污染，逐漸成為了半導體制造中的主流濕法清洗設備。該設備在晶圓上、下料、CUP升降裝置、噴淋/清洗裝置等機構應用上，東方馬達均提供強有力的解決方案。通過搭載步進伺服混合控制系統αSTEP AZ系列及其模組化產品，達成小型化、高精度、節(jié)省設計、裝配的人力和時間成本等多項課題。 以下為您介紹各工位應用提案：
晶圓上、下料工位——SCARA機器人應用
自制SCARA機器人常用于取放工作物、實現設備之間的搬送自動化，用以替代以往需要人工進行的連結、測量、組裝等手工作業(yè)產線，在有限的空間中實現簡易、高效的取放及設備間的自動化搬送。
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小型化電動機、模組產品的組合應用，實現機器人小型化
Axis1 采用全長較短的EZS系列折返型電動滑臺，有利于節(jié)省裝置的空間，實現了裝置的小型化設計，可滿足產線的裝置寬度限制。 （另可詳見CUP裝置升降工位的介紹。） Axis2 SCARA機器人在抓取距軸端較遠的機械臂前端工作物時，高剛性的DGⅡ系列中空旋轉平臺可提供高容許轉矩和容許慣性力矩，因此有助于擴大機械臂的可動范圍。（另可詳見擺臂工位--旋轉軸的介紹。）
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可根據安裝空間選擇電動機垂直組裝型或水平組裝型，電動機水平組裝型無需加工電動機的安裝用預留槽，簡化安裝板。
Axis3、4
中空旋轉式傳動裝置DGII系列全新電動機水平方向（薄型）有助于省空間。 實現水平多關節(jié)機器人整體的薄型化。
薄型機器人
DGⅡ系列薄型在機器人關節(jié)的旋轉應用，壓縮了機器人整體的高度，使得機器人更加小型、薄型。
輕松導入自制機器人
機器人控制器通過“初始設定”、“動作編程”、“動作確認”3 步，可輕松導入、控制自制機器人。可控制使用了混合控制系統αSTEP AZ系列/搭載AZ系列電動傳動裝置的自制機器人。
MRC01可以通過編程軟件MRC Studio設定的動作程序，僅用電腦輕松進行示教、動作確認。
免費的編程軟件，快速上手掌握控制
備有機器人控制器MRC01。使用其專用的編程軟件MRC Studio，即使無編程經驗，也可馬上進行編程·控制。通過使用MRC01，降低了編程·控制的難度，有助于自制機器人的順利研發(fā)。
約30分鐘即可掌握
即使無機器人控制經驗，也可約10分鐘進行初始設定，約20分鐘掌握編程，總共花大約30分鐘掌握MRC Studio的使用方法。
機器人編程、控制簡單
為了讓無機器人控制經驗的客戶也能編程，使用了直觀表現動作的動作指令按鈕圖標。即使沒有上位控制器，通過直接I/O亦可驅動程序。
指令使用了直觀體現動作的圖標
圓弧的動作，僅需選擇指令后在坐標中輸入
機器人類型多樣化選擇
以向導形式進行機器人類型的選擇和機構信息的輸入等一系列初始設定，通過邊看圖解邊按照指導說明進行設定、選擇。目前可支持32種機器人類型的選用。
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輕松選用機器人類型
大幅降低前期機器人模型搭建的算法構建難題，簡便選用合適的模型，提高自制機器人研發(fā)效率。
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搭載產品
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